CF法兰标准是超高真空系统精密连接的核心基础规范，其配套的尺寸表是保障连接精度、密封性与系统稳定性的关键依据，该标准明确了法兰各部位的精准尺寸参数，适配超高真空环境下的严苛要求，为相关设备的设计、加工、装配及维护提供了统一的技术准则，是超高真空系统可靠运行的重要技术支撑。